精密平台方案

在泛半导体行业会使用大量的微米和纳米级工作台与主工艺机台配套。包括曝光，划片，量测，AOI检测以及后道封测设备。

具备动态跟随能力强，跟随误差小。配合高动态聚焦，高速响应的直驱Z轴根据产品表面翘曲度快速调焦。

龙门双驱驱控器进行控制，双驱轴精度高、速度快、稳定性强。

方案配置：MC703控制器 + CDHD/CDHD2驱动器

MC703控制器：支持数学建模，支持高维多轴误差补偿

CDHD系列驱动器：专有振动抑制功能用于由低谐振频率(5Hz~400Hz)引起的振动，同时也能应对同一系统中的多个明显不同的谐振频率对荷载振荡进行有源阻尼，高创驱动器可大大降低重负荷或末端执行器到达目标位置的时间

支持龙门系统

位置比较输出模块

行业专用HDM算法